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2024년 6월호 뉴스레터_ 신제품_자이스 코리아
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(1). 제품명(국.영문), 제품 모델명, 제품 모델번호: ZEISS LaserSEM
(2). 제품의 개요, 사용(응용)분야: 대면적 또는 미세 표면 재료를 종합적으로 분석하려는 연구원에게 필요한 것은 큰 사이즈부터 나노 크기에 이르기까지 2D와 3D 차원을 모두 포괄할 수 있는 이미징 도구와 분석 도구입니다. 정교해진 F/S Laser를 이용하여 큰 단면의 EDS 또는 EBSD분석도 별도의 가공 없이 진행 가능합니다. 하나의 설비에서 고해상도 이미지를 얻을 수 있고, Chamber의 오염없이 넓은 영역의 가공을 빠른 시간안에 진행하여 다음 분석을 위한 샘플의 준비를 마칠 수 있습니다. 또한 두 챔버간 샘플 셔틀이 원활하게 이루어지도록 자동화시스템을 도입하여 높은 반복성과 처리량이 요구되는 공정을 지원 가능합니다. 대기 비개방 솔루션을 지원하여 Glove Box와 연계한 분석에도 활용 가능합니다.
(3). 제품의 주요특징(Features):
- EDS & EBSD 분석이 가능한 대면적 표면 처리
- 독립된 chamber에서 Laser milling 진행으로 오염을 방지
- Laser chamber를 고진공 또는 아르곤 가스로 충전 상태로 유지하여 샘플 처리 가능
- XRM 설비와 연계된 분석 워크플로우 사용으로 샘플에 분석의 정확도와 과정을 가속화
- Ga-Ion FIB column 추가로 LaserFIB로의 활용도 확장 가능 담당자 연락처: 010-6623-2268 |
