(사)한국현미경학회 Korean Society of Microscopy

AFM in SEM계측, 이미징 등 다양한 분야에서 사용 가능한 진공용 AFM 시스템

nano analyzetik GmbH의AFM in SEM은 이미징에만 사용되는 것이 아니라 나노 제조 및 계측에도 사용할 수 있습니다. 이를위해 폐사는 챔버 수정 없이 미세 조작 및 계측 스캐닝을 위해 모든 SEM에 적용할 수 있는 소형 AFM 시스템을 제공하고 있습니다.

XYZ-Stage는60μm x 60μm x 20μm 범위(Position Noise: X, Y=0.4nm,Z=0.2nm)의 모션 범위와 매우 낮은 평면 외 모션(extremely lowout-of-plane motion)을 갖춘 비자성(non-magnetic) 폐쇄 루프(closed-loop) 나노 포지셔너입니다. 이 제품은 높은 공진주파수(X, Y=750Hz, Z=2000Hz)를 특징으로 하며 고정밀 포지셔닝이 필요한 공간 제약이있는 애플리케이션용으로 설계되었습니다. 또한, 대략 위치지정 단계는 3nm의 정밀도로 X, Y 및 Z에서 1.5cm 범위의 조작 기능을 제공합니다.

진공 및 공기에서의 AFM 작동기능으로 인해 AFM 또는 SEM 도구의 기계 가동 중지시간이 없습니다.

Active cantilever를 적용하여 compact한 구성이 가능하여 사용하시는 SEM chamber를변경하지 않아도 설치가 가능한 진공용 AFM입니다. 간편한설치로 5분 이내로 진공챔버에 설치가 가능합니다.

담당자연락처  이호세 팀장/ 010-9373-3111