(사)한국현미경학회 Korean Society of Microscopy

새로운 3DAtom Probe - Invizo 6000의 Atom Probe 분석의 경계를 넓히는 주요 개발 기술을 소개합니다.

CAMECA사의 신규 장비인Invizo 6000은 기존의LEAP (Local Electrode Atom Probe) 장비에서 사용하였던 LE(Local Electrode)를 사용하지 않고FE Gun(Field Emission)에서Source를Evaporation하는 방식과 유사한 방법으로 Sample을 Evaporation하는방식으로 변경하였습니다.이에 따라 기존LEAP 보다 약2배 넓은FOV(Field of view)를구현할 수 있게 되었습니다.

Invizo 6000은LEAP 모델보다 큰FOV를 제공하면서도,새로운Double Einzel Lens (등전위 정전렌즈)기술 덕분에 높은 질량 분해능(MRP)을 제공합니다.이것은APT 분석에 매우 중요한 요소입니다.

또한Invizo 6000은 시료의 양쪽에 동시에 레이저 조사가 가능하게 함으로써 분석 능력을 향상시키는 새로운 카운터 전극 개념을 도입하였습니다.

마지막으로 Invizo 6000은 257.5nm DUV 레이저 모듈을 사용하여 시료 분석 성공률과 3DRecontraction 품질을 획기적으로 향상시켰습니다. 이 모듈은 이전의 기술보다 더욱 발전된 기술을 적용하여 우수한 분석 결과를 보여줍니다.

담당자 연락처: 나연호 상무 (010-2436-2602,daniel.na@ametek.com)